氨气(NH3) | |
化学式 | NH3 |
中文名称 | 氨 |
英文名称 | Ammonia |
CAS No. | 7664-41-7 |
分子量 | 17.031 |
充装系数 | 0.53kg/L |
应用 | 高纯氨气主要用于大规模集成电路减压或等离子体CVD,以生长二氧化硅膜。 |
产品纯度 | ≥99.999%~≥99.9999% |

氨气(NH3) | |
化学式 | NH3 |
中文名称 | 氨 |
英文名称 | Ammonia |
CAS No. | 7664-41-7 |
分子量 | 17.031 |
充装系数 | 0.53kg/L |
应用 | 高纯氨气主要用于大规模集成电路减压或等离子体CVD,以生长二氧化硅膜。 |
产品纯度 | ≥99.999%~≥99.9999% |
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