磷烷（PH3） |
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化学式 |
PH3 |
中文名称 |
磷烷 |
英文名称 |
Phosphine |
CAS No. |
7803-51-2 |
分子量 |
34 |
充装系数 |
0.2kg/L (气瓶公称工作压力为15MPa时) |
应用 |
主要用于硅烷外延的掺杂剂，磷扩散的杂质源。同时也用于多晶硅化学气相淀积、外延GaP材料、离子注入工艺、化合物半导体的MOCVD工艺、磷硅玻璃（PSG）钝化膜制备等工艺中。 |
产品规格 |
≥99.9997% |
磷烷具有五配位磷的有机化合物，稳定的磷烷多为氟原子的衍生物或环状磷酸酯。 无色，剧毒，易燃烧气体，带有令人生厌的大蒜味。 电子气中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大，是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。 PH3，易燃、易爆、剧毒，其毒性 数为：PEL/TLV 0.3ppm，STEL 1ppm，LC50 20ppm，IDLH 200ppm，属剧毒危害品。
