六氟化钨（WF6） |
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化学式 |
WF6 |
中文名称 |
六氟化钨 |
英文名称 |
Tungsten Hexafluoride |
CAS No. |
7783-82-6 |
分子量 |
297.8 |
充装系数 |
2.8kg/L |
应用 |
主要用作电子工业中金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料, 用它制成的WSi2 可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料, 另外还可以作为半导体电极的原材料、氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。 |
产品规格 |
≥99.99%~≥99.999% |
六氟化钨，无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。 在钨的氟化物中，WF6是稳定并被工业化生产的品种。主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层，可用于X-射线的发射电极。此外，WF6在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。 WF6还有许多非电子方面的应用，例如通过CVD技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善钢的表面性能。它还可用于制造某些钨制部件，如钨管和坩埚等。此外，WF6还被广泛用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。
