六氟乙烷（C2F6） |
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化学式 |
C2F6 |
中文名称 |
六氟乙烷 |
英文名称 |
Hexafluoroethane |
CAS No. |
76-16-4 |
分子量 |
138 |
充装系数 |
1.06kg/L (气瓶公称工作压力12.5MPa时) |
应用 |
在等离子工艺中作为二氧化硅和磷硅玻璃的干蚀气体。可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。亦可用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂。 |
六氟乙烷（hexafluoroethane），又称全氟乙烷，是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物，是卤代烃，亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物，是一种不易燃的气体，难溶于水，微溶于醇。
