三氯氢硅（SiHCl3 ）TCS
化学式	SiHCl3
中文名称	三氯氢硅
英文名称	Trichlorosilane
CAS No.	10025-78-2
分子量	135.43
充装系数	250kg；20000kg
应用	多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。

　　四氟化硅无色、有毒、有刺激性臭味的气体，易潮解，在潮湿空气中可产生浓烟雾。在1318mmHg(1mmHg=133.322Pa)压力下的熔点(三相点)为-90.2℃。在-95.7℃升华。液体的相对密度为1.590(-88℃)。吸湿性非常强，但如果完全无湿气时，并不腐蚀玻璃、汞、活塞上的润滑脂、橡胶等。加压下变成液体。