三氯氢硅（SiHCl3 ）TCS
化学式	SiHCl3
中文名称	三氯氢硅
英文名称	Trichlorosilane
CAS No.	10025-78-2
分子量	135.43
充装系数	250kg；20000kg
应用	多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。

　　又称硅氯仿，TCS。甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体，密度1.34克/厘米³ ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。 　　 　　三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性氯化氢气味易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2．HCl和Cl2。